Ezi-SERVO缩短晶圆检测时间

对晶圆片进行多角度检测时，皮带驱动的转盘需要频繁稳定启停。

而使用伺服电动机来驱动皮带时，停止时会出现频繁振动的情况，影响检测效率。且圆盘惯量较大，难以进行增益调整。

那么，检测效率呢如何解决因为频繁启停带来的振动问题呢？

可使用步进电机来替代伺服电动机，在避免微振的同时，电机自身的高转矩能够实现检测效率的全面提高，而且无需增益调整。

伺服电机运行时通过对比控制器发出的脉冲信号和驱动器发出的反馈信号，将二者误差控制为零，实现对电机的控制。因而在皮带等低刚性机构中，由于需要整定，振动会比较明显。而步进电机定位时无微振，可以通过电机自身保持力停止，适用于皮带机构等低刚性机构。

在应用于检测机构时，如下图所示，使用步进电动机驱动时无需整定时间，有助于高效率检测。

而 韩国Fastech闭环系统Ezi-SERVO系列电机，在保有步进电机性能的基础上，通过优化和改良，拥有更为出色的表现。